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基于双波面干涉条纹阵列大面积光学轮廓测量装置和方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN105865369A, 申请日期: 2016-08-17, 公开日期: 2016-08-17
发明人:  余学才;  肖景天;  任华西;  王晓庞
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