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具有隔腔和气流通路结构的半导体激光加工设备 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN102350589A, 申请日期: 2012-02-15, 公开日期: 2012-02-15
发明人:  严利人;  周卫;  刘朋;  窦维治
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用于半导体激光加工中高行重叠率的光束扫描及控制方式 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN102324385A, 申请日期: 2012-01-18, 公开日期: 2012-01-18
发明人:  严利人;  周卫;  刘朋;  窦维治
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一种用于半导体制造的激光退火设备及退火工艺 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN101459057A, 申请日期: 2009-06-17, 公开日期: 2009-06-17
发明人:  严利人;  周卫;  刘朋;  刘志弘;  窦维治
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