具有隔腔和气流通路结构的半导体激光加工设备

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	具有隔腔和气流通路结构的半导体激光加工设备
其他题名	具有隔腔和气流通路结构的半导体激光加工设备
	严利人; 周卫; 刘朋; 窦维治
	2012-02-15
专利权人	清华大学
公开日期	2012-02-15
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了属于半导体制造设备和技术范围的一种具有隔腔和气流通路结构的半导体激光加工设备。该设备由相互独立的机械腔和光学腔构成，在机械腔和光学腔中间设置隔腔；在机械腔一侧的上下部分别安装上进气口和下进气口，另一侧的中部设置出气口，出气口与排风设备接通，组成气流通路，气流由低温区流向高温区，紧接着被排出设备之外，从而带走机械腔中因加工产生的热量，保证精密部件的功能不受热扰动的影响。保证各模块的正常工作环境，功能模块之间彼此相隔离，不相干扰。将各模块功能组合起来，形成完整的设备工艺能力，是通过模块之间的电气连接和控制来实现的。对于光学处理和机械动作的精密性，精确性，都能够起到良好的保障作用。
其他摘要	本发明公开了属于半导体制造设备和技术范围的一种具有隔腔和气流通路结构的半导体激光加工设备。该设备由相互独立的机械腔和光学腔构成，在机械腔和光学腔中间设置隔腔；在机械腔一侧的上下部分别安装上进气口和下进气口，另一侧的中部设置出气口，出气口与排风设备接通，组成气流通路，气流由低温区流向高温区，紧接着被排出设备之外，从而带走机械腔中因加工产生的热量，保证精密部件的功能不受热扰动的影响。保证各模块的正常工作环境，功能模块之间彼此相隔离，不相干扰。将各模块功能组合起来，形成完整的设备工艺能力，是通过模块之间的电气连接和控制来实现的。对于光学处理和机械动作的精密性，精确性，都能够起到良好的保障作用。
申请日期	2011-07-06
专利号	CN102350589A
专利状态	失效
申请号	CN201110188512.1
公开（公告）号	CN102350589A
IPC 分类号	B23K26/00 \| B23K26/42 \| B23K26/70
专利代理人	史双元
代理机构	北京众合诚成知识产权代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86445
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	严利人,周卫,刘朋,等. 具有隔腔和气流通路结构的半导体激光加工设备. CN102350589A[P]. 2012-02-15.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN102350589A.PDF（315KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文