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エピタキシャルウェハおよび化合物半導体デバイス 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: JP3747125B2, 申请日期: 2005-12-02, 公开日期: 2006-02-22
发明人:  寺嶋 一高;  津崎 卓司;  宇田川 隆
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エピタキシャルウェハおよびその製造方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: JP1999162848A, 申请日期: 1999-06-18, 公开日期: 1999-06-18
发明人:  寺嶋 一高;  津崎 卓司;  宇田川 隆
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