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一种GaN复合衬底制备方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN105719946A, 申请日期: 2016-06-29, 公开日期: 2016-06-29
发明人:  甘志银;  刘胜;  严晗;  汪沛;  吕强
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