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表面等离子体调制的倒装VCSEL激光器及其制造方法 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN104882787B, 申请日期: 2018-12-07, 公开日期: 2018-12-07
发明人:  宋国峰;  祝希;  李康文;  付东
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