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基于超表面的单片集成面发射半导体激光器及其制备方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN108988123A, 申请日期: 2018-12-11, 公开日期: 2018-12-11
发明人:  夏金松;  崔成聪;  曾成;  袁帅
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