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Removal functions of different polishing heads worked in planet motion model 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 10, 页码: 2706-2713
作者:  Yao, Yong-Sheng;  Ma, Zhen;  Xu, Liang;  Ding, Jiao-Teng;  Wang, Yong-Jie;  Shen, Le;  Jiang, Bo
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一种非球面光学元件抛光装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201710433948.X, 申请日期: 2017-06-09, 公开日期: 2017-09-22
发明人:  姚永胜;  马臻;  许亮;  丁蛟腾;  王永杰
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