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X射线全光固体超快探测芯片调制光栅的制备方法及光栅 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN201910150687.X, 申请日期: 2020-07-31, 公开日期: 2020-07-31
发明人:  闫欣;  高贵龙;  何凯;  汪韬;  田进寿;  钟梓源;  尹飞;  李少辉;  辛丽伟;  刘虎林
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面阵式激光雷达探测芯片的设计与制作 学位论文
: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2009
作者:  尹飞
Microsoft Word(6159Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：837/5  |  提交时间：2011/10/09
Msm光探测器  Gaas  激光雷达  Lp-mocvd  光刻工艺