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大口径平面光学元件在位面形拼接测量装置及方法
段亚轩; 达争尚; 陈晓义; 袁索超; 范尧; 李铭; 王璞
2021-11-16
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期2021-03-30
授权国家中国
专利类型发明专利
产权排序1
摘要为了解决现有的测量大口径平面光学元件面形的方案易受空气气流扰动和振动的影响、测量动态范围小、面形测量分辨率不高、无法应用于在位各种姿态面形测量,以及当大口径平面光学元件面形中存在Power时无法测量的技术问题,本发明提出了一种大口径平面光学元件在位面形拼接测量装置及方法,利用激光器、半透半反镜、准直物镜、光阑、小孔光阑、准直目镜、二元光学器件、探测器、衰减板、远场探测器、驱动控制器、电控光阑、反射镜阵列、角锥棱镜阵列、六自由度运动平台,实现对被测大口径平面光学元件在位各种姿态下的动态高精度面形拼接测量,测量精度不受外界环境的影响。
申请日期2020-12-23
专利号CN202011537846.0
语种中文
专利状态授权
公开(公告)号CN112577446B
IPC 分类号G01B11/24 ; G06F17/14 ; G06T7/62 ; G06T7/66 ; G06T7/73 ; G06T17/20
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95523
专题先进光学仪器研究室
推荐引用方式
GB/T 7714
段亚轩,达争尚,陈晓义,等. 大口径平面光学元件在位面形拼接测量装置及方法. CN202011537846.0[P]. 2021-11-16.
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大口径平面光学元件在位面形拼接测量装置及(945KB)专利 限制开放CC BY-NC-SA请求全文
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