| 一种膜片飞秒激光刻痕方法 |
| 李明; 江浩
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| 2020-11-19
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| 专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
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| 公开日期 | 2021-03-16
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明专利
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| 产权排序 | 1
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| 摘要 | 本发明提供一种膜片飞秒激光刻痕方法，解决现有膜片的刻痕深度均匀性不好，导致膜片可靠性较差、容易引起误爆的问题。该方法包括：步骤一、设置飞秒激光器的参数，设置扫描振镜的扫描速度；步骤二、将刻痕槽的横截面等分为n层，得到n个刻痕图形；步骤三、将步骤二获取的n个刻痕图形导入扫描振镜的控制系统中；步骤四、装夹膜片；步骤五、开启飞秒激光器，扫描振镜依次扫描步骤三导入的n个刻痕图形，并进行扫描加工；步骤六、直至导入的n个刻痕图形加工完成，从而完成膜片刻痕槽的加工。该方法提升了膜片刻痕槽深的均匀性和膜片阀工作性能的可靠性，进而提升了膜片阀的破裂压力以及流量的一致性。 |
| 申请日期 | 2020-11-19
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| 专利号 | CN202011301861.5
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 申请中
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| 公开（公告）号 | CN112496561A
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| IPC 分类号 | B23K26/364
; B23K26/402
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95485
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| 专题 | 瞬态光学研究室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
李明,江浩. 一种膜片飞秒激光刻痕方法. CN202011301861.5[P]. 2020-11-19.
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