| 动态高分辨光学波前相位测量装置及测量方法 |
| 段亚轩; 达争尚 ; 李红光; 李铭; 王璞; 陈晓义; 陈永权; 袁索超; 蔺辉
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| 2020-06-03
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| 专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
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| 公开日期 | 2020-10-09
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明专利
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| 产权排序 | 1
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| 摘要 | 为了解决现有的动态光学波前相位测量装置精度不高、分辨率不高的技术问题，本发明提出了一种动态高分辨光学波前相位测量装置及测量方法，利用激光器、准直镜、平面反射镜、分光镜、吸收体、混合调制光栅、探测器、计算机、不同F#标准镜头和校准镜，能够实现对光学元件面形和光学系统波像差的主动式光学测试。本发明的分辨率由探测器像元尺寸大小决定，可实现高分辨率的光学波前相位测量，分辨率可小于0.01mm。本发明在系统本底误差标定一次后，即作为系统数据，实际面形测量时只需采集一次图像就可计算得到被测表面形貌信息，故相对传统相移干涉法，本发明不受环境影响。 |
| 申请日期 | 2020-06-03
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| 专利号 | CN202010494800.9
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 申请中
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| 公开（公告）号 | CN111751012A
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| IPC 分类号 | G01J9/02
; G01B11/24
; G01M11/02
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95365
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| 专题 | 先进光学仪器研究室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
段亚轩,达争尚,李红光,等. 动态高分辨光学波前相位测量装置及测量方法. CN202010494800.9[P]. 2020-06-03.
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