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光束质量测量装置及远场光束质量因子计算方法
李朝辉; 赵建科; 徐亮; 刘峰; 张玺斌; 毛振
2019-11-28
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期2020-04-10
授权国家中国
专利类型发明专利
产权排序1
摘要本发明属于高能激光光束质量测量领域,涉及一种光束质量测量装置及远场光束质量因子计算方法,克服传统的光束质量测量装置体积大,集成度低、使用繁琐等问题以及计算远场光束质量因子β的方法准确性不高的问题。整个测量装置光路由缩束器,分光镜,会聚镜,近场相机和远场相机组成,缩束器实现对大口径入射光束的缩束;分光镜用来对缩束后的光束进行分光,一路分给近场测试光路,通过连接近场相机进行近场波面测试,一路分给远场光路,通过会聚镜会聚后进入到远场相机实现远场光束质量测量。基于衍射环的远场光束质量因子β的计算方法,摒弃了传统的背景滤除和信号提取方法,具有计算速度快,数据稳定性高,抗噪声能力强的特点。
申请日期2019-11-28
专利号CN201911191276.1
语种中文
专利状态申请中
申请号CN201911191276.1
公开(公告)号CN110987173A
IPC 分类号G01J1/04
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93974
专题精密计量技术研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
李朝辉,赵建科,徐亮,等. 光束质量测量装置及远场光束质量因子计算方法. CN201911191276.1[P]. 2019-11-28.
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光束质量测量装置及远场光束质量因子计算方(433KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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