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氮化物类半导体激光元件及其制造方法
其他题名氮化物类半导体激光元件及其制造方法
西川学; 太田洁; 市桥由成
2010-05-26
专利权人三洋电机株式会社
公开日期2010-05-26
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明提供一种氮化物类半导体激光元件及其制造方法。该氮化物类半导体激光元件,具备:氮化物类半导体层,其形成于由氮化物类半导体构成的活性层上;和俯视时具有元件所需要的形状的电极层,该电极层包括:形成于氮化物类半导体层的与活性层相反侧的表面上且由Pt构成的第一金属层、形成于第一金属层的表面上且由Pd构成的第二金属层、和形成于第二金属层的表面上且由Pt构成的第三金属层。而且,第三金属层的厚度为第一金属层的厚度的10倍以上30倍以下。
其他摘要本发明提供一种氮化物类半导体激光元件及其制造方法。该氮化物类半导体激光元件,具备:氮化物类半导体层,其形成于由氮化物类半导体构成的活性层上;和俯视时具有元件所需要的形状的电极层,该电极层包括:形成于氮化物类半导体层的与活性层相反侧的表面上且由Pt构成的第一金属层、形成于第一金属层的表面上且由Pd构成的第二金属层、和形成于第二金属层的表面上且由Pt构成的第三金属层。而且,第三金属层的厚度为第一金属层的厚度的10倍以上30倍以下。
申请日期2009-09-29
专利号CN101714743A
专利状态失效
申请号CN200910178590.6
公开(公告)号CN101714743A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S5/343 | H01S5/22 | H01S5/02
专利代理人龙淳
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92921
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三洋电机株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
西川学,太田洁,市桥由成. 氮化物类半导体激光元件及其制造方法. CN101714743A[P]. 2010-05-26.
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