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小发散角脊型激光器及其制作方法
其他题名小发散角脊型激光器及其制作方法
祝希; 许海明; 刘志锋
2017-06-30
专利权人武汉光安伦光电技术有限公司
公开日期2017-06-30
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明提供了一种小发散角脊型激光器及其制作方法,所述激光器包括外延结构以及形成于外延结构上的脊波导结构,所述脊波导结构包括沿出光方向依次设置的平行增益区和光场模式扩展区,所述光场模式扩展区的宽度沿着出光方向逐渐增加,所述光场模式扩展区的较窄端与所述平行增益区相连且宽度与所述平行增益区的宽度相等,所述平行增益区的长度为100‑300um,所述光场模式扩展区的长度为10~150um。本发明提供的这种小发散角脊型激光器及其制作方法,不需要对外延结构进行调整,不需要引入新的外延工艺和工艺过程,可以控制阈值电流不会有较大的提高,不会限制半导体激光器的输出功率,对输出功率有10%以上的提高,对使用时的主要参数性能有一定的提高。
其他摘要本发明提供了一种小发散角脊型激光器及其制作方法,所述激光器包括外延结构以及形成于外延结构上的脊波导结构,所述脊波导结构包括沿出光方向依次设置的平行增益区和光场模式扩展区,所述光场模式扩展区的宽度沿着出光方向逐渐增加,所述光场模式扩展区的较窄端与所述平行增益区相连且宽度与所述平行增益区的宽度相等,所述平行增益区的长度为100‑300um,所述光场模式扩展区的长度为10~150um。本发明提供的这种小发散角脊型激光器及其制作方法,不需要对外延结构进行调整,不需要引入新的外延工艺和工艺过程,可以控制阈值电流不会有较大的提高,不会限制半导体激光器的输出功率,对输出功率有10%以上的提高,对使用时的主要参数性能有一定的提高。
申请日期2017-02-17
专利号CN106911078A
专利状态申请中
申请号CN201710084945.X
公开(公告)号CN106911078A
IPC 分类号H01S5/22
专利代理人程殿军 | 张瑾
代理机构北京汇泽知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92761
专题半导体激光器专利数据库
作者单位武汉光安伦光电技术有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
祝希,许海明,刘志锋. 小发散角脊型激光器及其制作方法. CN106911078A[P]. 2017-06-30.
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文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
CN106911078A.PDF(138KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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