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一种多孔GaN导电DBR及其制备方法
其他题名一种多孔GaN导电DBR及其制备方法
张宇; 魏斌
2019-07-26
专利权人山东大学
公开日期2019-07-26
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明涉及一种多孔GaN导电DBR及其制备方法,包括自下而上依次生长的衬底、缓冲层、非故意掺杂GaN层、n型故意掺杂氮化镓层和多孔GaN导电DBR层;所述多孔GaN导电DBR层由高孔洞率多孔GaN层和低孔洞率多孔GaN层交替堆叠形成。本发明不存在晶格失配问题,结构稳定,且多孔GaN导电DBR层具有高反射率、导电性好、中心波长可调的特点。
其他摘要本发明涉及一种多孔GaN导电DBR及其制备方法,包括自下而上依次生长的衬底、缓冲层、非故意掺杂GaN层、n型故意掺杂氮化镓层和多孔GaN导电DBR层;所述多孔GaN导电DBR层由高孔洞率多孔GaN层和低孔洞率多孔GaN层交替堆叠形成。本发明不存在晶格失配问题,结构稳定,且多孔GaN导电DBR层具有高反射率、导电性好、中心波长可调的特点。
申请日期2019-04-26
专利号CN110061109A
专利状态申请中
申请号CN201910342832.4
公开(公告)号CN110061109A
IPC 分类号H01L33/10 | H01L33/46 | H01S5/183
专利代理人赵龙群
代理机构济南金迪知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92432
专题半导体激光器专利数据库
作者单位山东大学
推荐引用方式
GB/T 7714
张宇,魏斌. 一种多孔GaN导电DBR及其制备方法. CN110061109A[P]. 2019-07-26.
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文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
CN110061109A.PDF(674KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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