Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| RWG型DFB激光器脊条上图形窗口的实现工艺 | |
| 其他题名 | RWG型DFB激光器脊条上图形窗口的实现工艺 |
| 曲迪; 白国人; 陈墨; 梁娟; 宋学颍 | |
| 2018-10-12 | |
| 专利权人 | 华慧芯科技(天津)有限公司 |
| 公开日期 | 2018-10-12 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 本发明公开了一种RWG型DFB激光器脊条上图形窗口的实现工艺。属于微电子技术、光纤通信技术领域，其特征在于，至少包括以下步骤：步骤一：基片清洗；步骤二：在基片表面旋涂双层光刻胶，通过曝光显影，将光刻版上的图案转移至基片表面；步骤三：以光刻胶作掩膜，刻蚀出脊形波导结构；步骤四：利用原子层沉积法沉积薄膜作为绝缘层；步骤五：通过Lift‑off剥离工艺，去除光刻胶连同脊波导上方的薄膜，完成脊条上图形开窗。通过采用上述技术方案，本发明在保证工艺效果的基础上，简化了工艺流程，并且能够降低制造的成本。 |
| 其他摘要 | 本发明公开了一种RWG型DFB激光器脊条上图形窗口的实现工艺。属于微电子技术、光纤通信技术领域，其特征在于，至少包括以下步骤：步骤一：基片清洗；步骤二：在基片表面旋涂双层光刻胶，通过曝光显影，将光刻版上的图案转移至基片表面；步骤三：以光刻胶作掩膜，刻蚀出脊形波导结构；步骤四：利用原子层沉积法沉积薄膜作为绝缘层；步骤五：通过Lift‑off剥离工艺，去除光刻胶连同脊波导上方的薄膜，完成脊条上图形开窗。通过采用上述技术方案，本发明在保证工艺效果的基础上，简化了工艺流程，并且能够降低制造的成本。 |
| 申请日期 | 2018-06-26 |
| 专利号 | CN108649428A |
| 专利状态 | 申请中 |
| 申请号 | CN201810670020.8 |
| 公开（公告）号 | CN108649428A |
| IPC 分类号 | H01S5/12 | H01S5/22 | G03F7/00 |
| 专利代理人 | 蒙建军 |
| 代理机构 | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92246 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 华慧芯科技(天津)有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曲迪,白国人,陈墨,等. RWG型DFB激光器脊条上图形窗口的实现工艺. CN108649428A[P]. 2018-10-12. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN108649428A.PDF（459KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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