具有功能复用的载流子耗尽型微环谐振器波长锁定方法

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	具有功能复用的载流子耗尽型微环谐振器波长锁定方法
其他题名	具有功能复用的载流子耗尽型微环谐振器波长锁定方法
	余辉; 戚天
	2018-05-18
专利权人	浙江大学
公开日期	2018-05-18
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了具有功能复用的载流子耗尽型微环谐振器波长锁定方法。包括单模输入波导、调制部分、功能复用部分和反馈控制单元。输入光信号由单模输入波导进入，与具有调制部分和功能复用部分的微环谐振器耦合连接，在调制部分进行调制，经功能复用部分执行光电探测功能时转化为光电流，进入反馈控制单元；反馈信号回到功能复用部分，执行加热功能时对该部分进行加热，完成波长锁定。本发明将微环调制器、光电探测器、加热器集成在同一微环上，完成光电探测器、加热器功能的复用，实现在一定温度范围内对波长的锁定，其器件制作流程与微环调制器制作流程相同，不需要额外工艺制作过程，降低了成本，且具有良好的CMOS工艺兼容性，可大规模集成。
其他摘要	本发明公开了具有功能复用的载流子耗尽型微环谐振器波长锁定方法。包括单模输入波导、调制部分、功能复用部分和反馈控制单元。输入光信号由单模输入波导进入，与具有调制部分和功能复用部分的微环谐振器耦合连接，在调制部分进行调制，经功能复用部分执行光电探测功能时转化为光电流，进入反馈控制单元；反馈信号回到功能复用部分，执行加热功能时对该部分进行加热，完成波长锁定。本发明将微环调制器、光电探测器、加热器集成在同一微环上，完成光电探测器、加热器功能的复用，实现在一定温度范围内对波长的锁定，其器件制作流程与微环调制器制作流程相同，不需要额外工艺制作过程，降低了成本，且具有良好的CMOS工艺兼容性，可大规模集成。
申请日期	2017-12-21
专利号	CN108054632A
专利状态	申请中
申请号	CN201711395420.4
公开（公告）号	CN108054632A
IPC 分类号	H01S5/0687 \| G02B6/293
专利代理人	林怀禹
代理机构	杭州求是专利事务所有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92203
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	浙江大学
推荐引用方式 GB/T 7714	余辉,戚天. 具有功能复用的载流子耗尽型微环谐振器波长锁定方法. CN108054632A[P]. 2018-05-18.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN108054632A.PDF（142KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文