用于制造集成的微机械的流体传感器构件的方法，集成的微机械的流体传感器构件和借助于集成的微机械的流体传感器构件来检测流体的方法

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	用于制造集成的微机械的流体传感器构件的方法，集成的微机械的流体传感器构件和借助于集成的微机械的流体传感器构件来检测流体的方法
其他题名	用于制造集成的微机械的流体传感器构件的方法，集成的微机械的流体传感器构件和借助于集成的微机械的流体传感器构件来检测流体的方法
	R.菲克斯; R.哈特克; J.贝因特纳
	2016-08-24
专利权人	罗伯特·博世有限公司
公开日期	2016-08-24
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明实现一种用于制造集成的微机械的流体传感器构件的方法、一种集成的微机械的流体传感器构件和一种用于借助于集成的微机械的流体传感器构件来检测流体的方法。方法包括下述步骤：构造（S01）第一晶片（W1），所述第一晶片在第一衬底（110）上具有第一布拉格镜（DBR1）并且具有光发射装置（112）；其中光发射装置（112）被构造用于从光发射装置（112）的背离第一布拉格镜（DBR1）的表面（112‑f）沿发射方向（R）发射光线（L）；构造（S02）第二晶片，所述第二晶片在第二衬底（120）上具有第二布拉格镜（DBR2）并且具有光电二极管（116），其中光电二极管（116）布置在第二布拉格镜（DBR2）的朝向第二衬底（120）的表面（DBR2‑b）上；将第一晶片（W1）接合（S3）或者粘接到第二晶片（W2）上，使得在光发射装置（112）的背离第一布拉格镜（DBR1）的侧（112‑f）上，以及在第二布拉格镜（DBR2）的背离光电二极管（116）的表面（DBR2‑f）上构造空腔（114），能够将流体（F）导入到所述空腔中，并且所述空腔能够由光线（L）穿越；并且从第一和第二晶片（W1，W2）分离（S04）流体传感器构件。
其他摘要	本发明实现一种用于制造集成的微机械的流体传感器构件的方法、一种集成的微机械的流体传感器构件和一种用于借助于集成的微机械的流体传感器构件来检测流体的方法。方法包括下述步骤：构造（S01）第一晶片（W1），所述第一晶片在第一衬底（110）上具有第一布拉格镜（DBR1）并且具有光发射装置（112）；其中光发射装置（112）被构造用于从光发射装置（112）的背离第一布拉格镜（DBR1）的表面（112‑f）沿发射方向（R）发射光线（L）；构造（S02）第二晶片，所述第二晶片在第二衬底（120）上具有第二布拉格镜（DBR2）并且具有光电二极管（116），其中光电二极管（116）布置在第二布拉格镜（DBR2）的朝向第二衬底（120）的表面（DBR2‑b）上；将第一晶片（W1）接合（S3）或者粘接到第二晶片（W2）上，使得在光发射装置（112）的背离第一布拉格镜（DBR1）的侧（112‑f）上，以及在第二布拉格镜（DBR2）的背离光电二极管（116）的表面（DBR2‑f）上构造空腔（114），能够将流体（F）导入到所述空腔中，并且所述空腔能够由光线（L）穿越；并且从第一和第二晶片（W1，W2）分离（S04）流体传感器构件。
申请日期	2014-11-21
专利号	CN105899938A
专利状态	申请中
申请号	CN201480073169.8
公开（公告）号	CN105899938A
IPC 分类号	G01N21/3504 \| G01N21/39 \| H01S5/183 \| B82Y20/00 \| G01N21/359 \| H01S5/06
专利代理人	卢江 \| 张涛
代理机构	中国专利代理(香港)有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92017
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	罗伯特·博世有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	R.菲克斯,R.哈特克,J.贝因特纳. 用于制造集成的微机械的流体传感器构件的方法，集成的微机械的流体传感器构件和借助于集成的微机械的流体传感器构件来检测流体的方法. CN105899938A[P]. 2016-08-24.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN105899938A.PDF（1206KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文