分布反馈型半导体激光元件、分布反馈型半导体激光元件的制造方法

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	分布反馈型半导体激光元件、分布反馈型半导体激光元件的制造方法
其他题名	分布反馈型半导体激光元件、分布反馈型半导体激光元件的制造方法
	上辻哲也; 川崎和重; 南政史
	2015-07-29
专利权人	三菱电机株式会社
公开日期	2015-07-29
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明的目的在于提供一种能够缩短电子束光刻所需的时间的分布反馈型半导体激光元件以及分布反馈型半导体激光元件的制造方法。该分布反馈型半导体激光元件的特征在于，具有：衬底(12)；活性层(16)，其形成在该衬底(12)的上方；以及衍射光栅(20)，其具有第1图案(20a)以及比该第1图案(20a)短且与该第1图案(20a)的中央部相对的第2图案(20b)，对该活性层(16)产生的光进行衍射。
其他摘要	本发明的目的在于提供一种能够缩短电子束光刻所需的时间的分布反馈型半导体激光元件以及分布反馈型半导体激光元件的制造方法。该分布反馈型半导体激光元件的特征在于，具有：衬底(12)；活性层(16)，其形成在该衬底(12)的上方；以及衍射光栅(20)，其具有第1图案(20a)以及比该第1图案(20a)短且与该第1图案(20a)的中央部相对的第2图案(20b)，对该活性层(16)产生的光进行衍射。
申请日期	2015-01-22
专利号	CN104810723A
专利状态	失效
申请号	CN201510032860.8
公开（公告）号	CN104810723A
IPC 分类号	H01S5/12
专利代理人	何立波 \| 张天舒
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91819
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	三菱电机株式会社
推荐引用方式 GB/T 7714	上辻哲也,川崎和重,南政史. 分布反馈型半导体激光元件、分布反馈型半导体激光元件的制造方法. CN104810723A[P]. 2015-07-29.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN104810723A.PDF（779KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文