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线光束形成装置
其他题名线光束形成装置
文轸培; 金惠贞; 柳相吉
2017-08-29
专利权人株式会社菲尔光学
公开日期2017-08-29
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要提供一种线光束形成装置,其配置成:通过使用由多个反射镜组成的单反射镜组,可以沿与激光束的行进方向(z轴)垂直的第一方向(y轴)将激光束分割为具有预定尺寸的子光束,并且沿与激光束的行进方向(z轴)垂直的第二方向(x轴)以规则的间隔排列这些子光束并出射,本发明的线光束形成装置可以用作准分子激光器(具有高光束发散度的多模式激光束发生器)、大功率DPSS激光器或激光二极管,可以通过会聚光束而获得高密度能量,可以获得在长轴和短轴两者中均具有均匀强度的光束轮廓,并且可以组合多个激光束而不受入射光束特性的影响。
其他摘要提供一种线光束形成装置,其配置成:通过使用由多个反射镜组成的单反射镜组,可以沿与激光束的行进方向(z轴)垂直的第一方向(y轴)将激光束分割为具有预定尺寸的子光束,并且沿与激光束的行进方向(z轴)垂直的第二方向(x轴)以规则的间隔排列这些子光束并出射,本发明的线光束形成装置可以用作准分子激光器(具有高光束发散度的多模式激光束发生器)、大功率DPSS激光器或激光二极管,可以通过会聚光束而获得高密度能量,可以获得在长轴和短轴两者中均具有均匀强度的光束轮廓,并且可以组合多个激光束而不受入射光束特性的影响。
申请日期2015-06-19
专利号CN107112707A
专利状态申请中
申请号CN201580073649.9
公开(公告)号CN107112707A
IPC 分类号H01S3/081
专利代理人石宝忠
代理机构北京市中伦律师事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91520
专题半导体激光器专利数据库
作者单位株式会社菲尔光学
推荐引用方式
GB/T 7714
文轸培,金惠贞,柳相吉. 线光束形成装置. CN107112707A[P]. 2017-08-29.
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