Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 一种垂直腔面发射激光器及其制作方法 | |
| 其他题名 | 一种垂直腔面发射激光器及其制作方法 |
| 宁永强; 张祥伟; 秦莉; 刘云; 王立军 | |
| 2012-11-28 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-11-28 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 本发明涉及一种垂直腔面发射激光器及其制作方法，垂直腔面发射激光器包括n面电极、GaAs衬底、缓冲层、n型DBR层、氧化限制层、有源区、钝化层、p型DBR层、欧姆接触层。本发明的垂直腔面发射激光器及其制作方法，通过把氧化限制层通过一定工艺来把圆形的氧化层氧化成非圆形，以此来打破电流的各向同性注入，通过引入各向异性的电流注入到有源区来实现两个相互正交的偏振光的偏振控制。另外，本发明的垂直腔面发射激光器结构制造工艺简捷、重复性好，容易推广。 |
| 其他摘要 | 本发明涉及一种垂直腔面发射激光器及其制作方法，垂直腔面发射激光器包括n面电极、GaAs衬底、缓冲层、n型DBR层、氧化限制层、有源区、钝化层、p型DBR层、欧姆接触层。本发明的垂直腔面发射激光器及其制作方法，通过把氧化限制层通过一定工艺来把圆形的氧化层氧化成非圆形，以此来打破电流的各向同性注入，通过引入各向异性的电流注入到有源区来实现两个相互正交的偏振光的偏振控制。另外，本发明的垂直腔面发射激光器结构制造工艺简捷、重复性好，容易推广。 |
| 申请日期 | 2012-08-08 |
| 专利号 | CN102801107A |
| 专利状态 | 授权 |
| 申请号 | CN201210279639.9 |
| 公开（公告）号 | CN102801107A |
| IPC 分类号 | H01S5/183 |
| 专利代理人 | 张伟 |
| 代理机构 | 长春菁华专利商标代理事务所 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91387 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宁永强,张祥伟,秦莉,等. 一种垂直腔面发射激光器及其制作方法. CN102801107A[P]. 2012-11-28. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN102801107A.PDF（892KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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