Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
矩阵寻址的垂直腔面发射激光器阵列器件 | |
其他题名 | 矩阵寻址的垂直腔面发射激光器阵列器件 |
刘志宏; 王圩 | |
2005-06-01 | |
专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
公开日期 | 2005-06-01 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 本发明一种矩阵寻址的垂直腔面发射激光器阵列器件,其特征在于,包括以下基本结构:共m×n个垂直腔面发射激光器单元;其中所述的垂直腔面发射激光器单元包括尺寸依次递减的三个台:底反射镜台、光腔台、和顶反射镜台,还有p电极和n电极;该光腔台制作在底反射镜台之上,该顶反射镜台制作在光腔台之上;该p型电极制作在p型重掺杂导电层上、顶反射镜台周围,且每行垂直腔面发射激光器单元的p电极相连;该n型电极呈环形制作在n型重掺杂导电层上、光腔台周围,且每列垂直腔面发射激光器单元的n电极相连。 |
其他摘要 | 本发明一种矩阵寻址的垂直腔面发射激光器阵列器件,其特征在于,包括以下基本结构:共m×n个垂直腔面发射激光器单元;其中所述的垂直腔面发射激光器单元包括尺寸依次递减的三个台:底反射镜台、光腔台、和顶反射镜台,还有p电极和n电极;该光腔台制作在底反射镜台之上,该顶反射镜台制作在光腔台之上;该p型电极制作在p型重掺杂导电层上、顶反射镜台周围,且每行垂直腔面发射激光器单元的p电极相连;该n型电极呈环形制作在n型重掺杂导电层上、光腔台周围,且每列垂直腔面发射激光器单元的n电极相连。 |
申请日期 | 2003-11-27 |
专利号 | CN1622410A |
专利状态 | 失效 |
申请号 | CN200310119646.3 |
公开(公告)号 | CN1622410A |
IPC 分类号 | H01S5/183 | H01S5/42 |
专利代理人 | 汤保平 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91341 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘志宏,王圩. 矩阵寻址的垂直腔面发射激光器阵列器件. CN1622410A[P]. 2005-06-01. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN1622410A.PDF(633KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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