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热膨胀系数可调的Cu热沉及其制备方法
其他题名热膨胀系数可调的Cu热沉及其制备方法
舒世立; 佟存柱; 田思聪; 汪丽杰; 宁永强; 王立军
2015-04-08
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2015-04-08
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种热膨胀系数可调的Cu热沉及其制备方法,属于半导体激光器芯片封装技术领域。解决了现有技术中金属热沉热膨胀系数大,大部分陶瓷热沉导热系数差,而具有低膨胀、高导热特性的陶瓷热沉又价格昂贵难于加工的问题。该热沉由20–80vol.%的Cu和20–80vol.%的陶瓷颗粒组成,其中,陶瓷颗粒为TiB2、TiC、ZrB2或者ZrC。本发明的Cu热沉可以通过调节其陶瓷颗粒含量使其热膨胀系数在5.91×10-6/K到13.44×10-6/K范围内可调,进而使其与半导体激光器芯片热膨胀系数匹配,降低焊接的内应力,提高半导体激光器的可靠性和使用寿命,适用于半导体激光器芯片散热与封装。
其他摘要本发明公开了一种热膨胀系数可调的Cu热沉及其制备方法,属于半导体激光器芯片封装技术领域。解决了现有技术中金属热沉热膨胀系数大,大部分陶瓷热沉导热系数差,而具有低膨胀、高导热特性的陶瓷热沉又价格昂贵难于加工的问题。该热沉由20–80vol.%的Cu和20–80vol.%的陶瓷颗粒组成,其中,陶瓷颗粒为TiB2、TiC、ZrB2或者ZrC。本发明的Cu热沉可以通过调节其陶瓷颗粒含量使其热膨胀系数在5.91×10-6/K到13.44×10-6/K范围内可调,进而使其与半导体激光器芯片热膨胀系数匹配,降低焊接的内应力,提高半导体激光器的可靠性和使用寿命,适用于半导体激光器芯片散热与封装。
申请日期2014-11-27
专利号CN104498766A
专利状态失效
申请号CN201410706027.2
公开(公告)号CN104498766A
IPC 分类号C22C9/00 | C22C32/00 | C22C29/00 | C22C1/05 | H01S5/024
专利代理人王丹阳
代理机构长春菁华专利商标代理事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90984
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
舒世立,佟存柱,田思聪,等. 热膨胀系数可调的Cu热沉及其制备方法. CN104498766A[P]. 2015-04-08.
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CN104498766A.PDF(730KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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