集成输出直波导的电泵浦微腔激光器

OPT OpenIR > 半导体激光器专利数据库

	集成输出直波导的电泵浦微腔激光器
其他题名	集成输出直波导的电泵浦微腔激光器
	宁永强; 秦莉; 孙艳芳; 李特; 崔锦江; 刘云; 刘星元; 王立军
	2008-03-26
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2008-03-26
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开一种集成输出直波导的电泵浦微腔激光器，可以将微腔激光器中的激光由集成的输出直波导的端口输出。该器件是基于耳语回廊模式原理产生激光振荡的微腔激光器。器件由管芯和热沉两部分组成，管芯是在半导体量子阱激光器外延片上经过光刻、腐蚀、氧化及电子束蒸发等复杂的器件工艺后完成的微腔激光器芯片。管芯的中心是一个微碟或微环，在微碟或微环的边缘沿切线方向集成一个直波导，宽度为数个微米，长度为数十-数百微米，厚度与微碟或微环的厚度一致。在微碟或微环的表面制备有欧姆接触金属薄膜，采用焊料将管芯和热沉焊接在一起。该器件具有结构简单、输出耦合效率高的优点，满足大规模光集成器件研究的需要。
其他摘要	本发明公开一种集成输出直波导的电泵浦微腔激光器，可以将微腔激光器中的激光由集成的输出直波导的端口输出。该器件是基于耳语回廊模式原理产生激光振荡的微腔激光器。器件由管芯和热沉两部分组成，管芯是在半导体量子阱激光器外延片上经过光刻、腐蚀、氧化及电子束蒸发等复杂的器件工艺后完成的微腔激光器芯片。管芯的中心是一个微碟或微环，在微碟或微环的边缘沿切线方向集成一个直波导，宽度为数个微米，长度为数十-数百微米，厚度与微碟或微环的厚度一致。在微碟或微环的表面制备有欧姆接触金属薄膜，采用焊料将管芯和热沉焊接在一起。该器件具有结构简单、输出耦合效率高的优点，满足大规模光集成器件研究的需要。
申请日期	2006-09-22
专利号	CN101150242A
专利状态	失效
申请号	CN200610017205.6
公开（公告）号	CN101150242A
IPC 分类号	H01S5/00
专利代理人	赵炳仁
代理机构	长春菁华专利商标代理事务所
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90724
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	宁永强,秦莉,孙艳芳,等. 集成输出直波导的电泵浦微腔激光器. CN101150242A[P]. 2008-03-26.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN101150242A.PDF（377KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文