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波长为852nm的分布反馈激光器的结构和制作方法
其他题名波长为852nm的分布反馈激光器的结构和制作方法
付生辉; 钟源; 陈良惠
2007-11-28
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2007-11-28
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要一种波长为852nm的分布反馈激光器的结构,包括:在N型GaAs衬底上依次制作的N型GaAs缓冲层、N型AlGaAs下盖层、N型GaAs缓冲层、非掺AlGaAs下波导层、N型AlGaAs下盖层、非掺AlGaAs下垒层、非掺AlGaAs下波导层、非掺AlGaInAs有源层、非掺AlGaAs下垒层、非掺AlGaAs上垒层、非掺AlGaInAs有源层、非掺AlGaAs上波导层、非掺AlGaAs上垒层、非掺GaInP光栅层、非掺AlGaAs上波导层、非掺AlGaAs上盖层、非掺GaInP光栅层、P型AlGaAs上盖层、非掺AlGaAs上盖层、P型GaAs帽层、P型AlGaAs上盖层、SiO2层、P型GaAs帽层、P型电极以及N型电极。
其他摘要一种波长为852nm的分布反馈激光器的结构,包括:在N型GaAs衬底上依次制作的N型GaAs缓冲层、N型AlGaAs下盖层、N型GaAs缓冲层、非掺AlGaAs下波导层、N型AlGaAs下盖层、非掺AlGaAs下垒层、非掺AlGaAs下波导层、非掺AlGaInAs有源层、非掺AlGaAs下垒层、非掺AlGaAs上垒层、非掺AlGaInAs有源层、非掺AlGaAs上波导层、非掺AlGaAs上垒层、非掺GaInP光栅层、非掺AlGaAs上波导层、非掺AlGaAs上盖层、非掺GaInP光栅层、P型AlGaAs上盖层、非掺AlGaAs上盖层、P型GaAs帽层、P型AlGaAs上盖层、SiO2层、P型GaAs帽层、P型电极以及N型电极。
申请日期2006-05-25
专利号CN101079532A
专利状态失效
申请号CN200610011982.X
公开(公告)号CN101079532A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S5/12 | H01S5/20 | H01S5/30 | H01S5/323 | H01S5/343
专利代理人汤保平
代理机构中科专利商标代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90651
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
付生辉,钟源,陈良惠. 波长为852nm的分布反馈激光器的结构和制作方法. CN101079532A[P]. 2007-11-28.
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文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
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