近场光学阶梯型纳米孔径激光器

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	近场光学阶梯型纳米孔径激光器
其他题名	近场光学阶梯型纳米孔径激光器
	许吉英; 王佳; 徐铁军; 田芊
	2004-10-20
专利权人	清华大学
公开日期	2004-10-20
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	近场光学阶梯型纳米孔径激光器，属于近场光学、纳米技术领域。为了克服已有纳米孔径激光器技术的输出功率低，不能满足实际使用要求的不足，本发明公开了一种阶梯型纳米孔径激光器，激光器出射表面镀有能形成纳米孔径的膜层，所述膜层上具有一个纳米尺寸的出射孔径，纳米出射孔径的尺寸从所述膜层的入射表面向出射表面呈阶梯型的逐渐减小，直到在所述膜层的出射表面形成一个亚波长的小孔。本发明的通光效率与输出光强极大值在具有相同近场光斑尺寸的情况下，较普通纳米孔径激光器提高了10～104倍，大大提高了输出光功率。本发明可作为纳米近场光学有源探针用于纳米尺度近场光学成像、光谱探测、数据存储、光刻、光学操作等。
其他摘要	近场光学阶梯型纳米孔径激光器，属于近场光学、纳米技术领域。为了克服已有纳米孔径激光器技术的输出功率低，不能满足实际使用要求的不足，本发明公开了一种阶梯型纳米孔径激光器，激光器出射表面镀有能形成纳米孔径的膜层，所述膜层上具有一个纳米尺寸的出射孔径，纳米出射孔径的尺寸从所述膜层的入射表面向出射表面呈阶梯型的逐渐减小，直到在所述膜层的出射表面形成一个亚波长的小孔。本发明的通光效率与输出光强极大值在具有相同近场光斑尺寸的情况下，较普通纳米孔径激光器提高了10～104倍，大大提高了输出光功率。本发明可作为纳米近场光学有源探针用于纳米尺度近场光学成像、光谱探测、数据存储、光刻、光学操作等。
申请日期	2003-04-18
专利号	CN1538581A
专利状态	失效
申请号	CN03121943.8
公开（公告）号	CN1538581A
IPC 分类号	H01S5/00
专利代理人	-
代理机构	-
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90491
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	许吉英,王佳,徐铁军,等. 近场光学阶梯型纳米孔径激光器. CN1538581A[P]. 2004-10-20.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN1538581A.PDF（772KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文