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波导、包括该波导的装置及制造该波导的方法
其他题名波导、包括该波导的装置及制造该波导的方法
小山泰史
2012-11-21
专利权人佳能株式会社
公开日期2012-11-21
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要提供一种波导、包括该波导的装置及制造该波导的方法,使用该波导抑制了在初始阶段中或在操作期间在半导体中引起的或由制造工艺等引起的应力和缺陷,从而预期有特性的改进和稳定性。该波导包括:第一导体层和第二导体层,其包括相对于波导模式下的电磁波具有负介电常数实部的负介电常数介质;以及核心层,其与第一导体层和第二导体层接触,并且被放置在第一导体层与第二导体层之间,并且包括半导体部分。包括半导体部分的核心层具有在面内方向上延伸的凹入凸出结构。
其他摘要提供一种波导、包括该波导的装置及制造该波导的方法,使用该波导抑制了在初始阶段中或在操作期间在半导体中引起的或由制造工艺等引起的应力和缺陷,从而预期有特性的改进和稳定性。该波导包括:第一导体层和第二导体层,其包括相对于波导模式下的电磁波具有负介电常数实部的负介电常数介质;以及核心层,其与第一导体层和第二导体层接触,并且被放置在第一导体层与第二导体层之间,并且包括半导体部分。包括半导体部分的核心层具有在面内方向上延伸的凹入凸出结构。
申请日期2012-05-14
专利号CN102790355A
专利状态失效
申请号CN201210148448.9
公开(公告)号CN102790355A
IPC 分类号H01S5/20
专利代理人魏小薇
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90428
专题半导体激光器专利数据库
作者单位佳能株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
小山泰史. 波导、包括该波导的装置及制造该波导的方法. CN102790355A[P]. 2012-11-21.
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CN102790355A.PDF(1237KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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