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具有非对称Al组分AlGaN限制层的氮化镓基激光器
其他题名具有非对称Al组分AlGaN限制层的氮化镓基激光器
陈平; 赵德刚; 朱建军; 刘宗顺; 江德生; 杨辉
2015-06-24
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2015-06-24
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要一种具有非对称Al组分AlGaN限制层的氮化镓基激光器,包括:一氮化镓同质衬底;一n型GaN同质外延层,其制作在氮化镓同质衬底上;一n型AlGaN限制层,其制作在n型GaN同质外延层上;一n型GaN波导层,其制作在n型AlGaN限制层上;一InGaN/GaN量子阱有源区,其制作在n型GaN波导层上;一p型AlGaN电子阻挡层,其制作在InGaN/GaN量子阱有源区上;一p型GaN波导层,其制作在p型AlGaN电子阻挡层上;一p型AlGaN限制层,其制作在p型GaN波导层上,该p型AlGaN限制层的中间为一凸起的脊形;一p型掺杂/p型重掺接触层,其制作在p型AlGaN限制层凸起的脊形上;一p型欧姆电极,其制作在p型掺杂/p型重掺接触层上;一n型欧姆电极,其制作在氮化镓同质衬底的下表面。
其他摘要一种具有非对称Al组分AlGaN限制层的氮化镓基激光器,包括:一氮化镓同质衬底;一n型GaN同质外延层,其制作在氮化镓同质衬底上;一n型AlGaN限制层,其制作在n型GaN同质外延层上;一n型GaN波导层,其制作在n型AlGaN限制层上;一InGaN/GaN量子阱有源区,其制作在n型GaN波导层上;一p型AlGaN电子阻挡层,其制作在InGaN/GaN量子阱有源区上;一p型GaN波导层,其制作在p型AlGaN电子阻挡层上;一p型AlGaN限制层,其制作在p型GaN波导层上,该p型AlGaN限制层的中间为一凸起的脊形;一p型掺杂/p型重掺接触层,其制作在p型AlGaN限制层凸起的脊形上;一p型欧姆电极,其制作在p型掺杂/p型重掺接触层上;一n型欧姆电极,其制作在氮化镓同质衬底的下表面。
申请日期2015-02-02
专利号CN104734015A
专利状态授权
申请号CN201510052314.0
公开(公告)号CN104734015A
IPC 分类号H01S5/343
专利代理人任岩
代理机构中科专利商标代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90413
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
陈平,赵德刚,朱建军,等. 具有非对称Al组分AlGaN限制层的氮化镓基激光器. CN104734015A[P]. 2015-06-24.
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