Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
具有非对称Al组分AlGaN限制层的氮化镓基激光器 | |
其他题名 | 具有非对称Al组分AlGaN限制层的氮化镓基激光器 |
陈平; 赵德刚; 朱建军; 刘宗顺; 江德生; 杨辉 | |
2015-06-24 | |
专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
公开日期 | 2015-06-24 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 一种具有非对称Al组分AlGaN限制层的氮化镓基激光器,包括:一氮化镓同质衬底;一n型GaN同质外延层,其制作在氮化镓同质衬底上;一n型AlGaN限制层,其制作在n型GaN同质外延层上;一n型GaN波导层,其制作在n型AlGaN限制层上;一InGaN/GaN量子阱有源区,其制作在n型GaN波导层上;一p型AlGaN电子阻挡层,其制作在InGaN/GaN量子阱有源区上;一p型GaN波导层,其制作在p型AlGaN电子阻挡层上;一p型AlGaN限制层,其制作在p型GaN波导层上,该p型AlGaN限制层的中间为一凸起的脊形;一p型掺杂/p型重掺接触层,其制作在p型AlGaN限制层凸起的脊形上;一p型欧姆电极,其制作在p型掺杂/p型重掺接触层上;一n型欧姆电极,其制作在氮化镓同质衬底的下表面。 |
其他摘要 | 一种具有非对称Al组分AlGaN限制层的氮化镓基激光器,包括:一氮化镓同质衬底;一n型GaN同质外延层,其制作在氮化镓同质衬底上;一n型AlGaN限制层,其制作在n型GaN同质外延层上;一n型GaN波导层,其制作在n型AlGaN限制层上;一InGaN/GaN量子阱有源区,其制作在n型GaN波导层上;一p型AlGaN电子阻挡层,其制作在InGaN/GaN量子阱有源区上;一p型GaN波导层,其制作在p型AlGaN电子阻挡层上;一p型AlGaN限制层,其制作在p型GaN波导层上,该p型AlGaN限制层的中间为一凸起的脊形;一p型掺杂/p型重掺接触层,其制作在p型AlGaN限制层凸起的脊形上;一p型欧姆电极,其制作在p型掺杂/p型重掺接触层上;一n型欧姆电极,其制作在氮化镓同质衬底的下表面。 |
申请日期 | 2015-02-02 |
专利号 | CN104734015A |
专利状态 | 授权 |
申请号 | CN201510052314.0 |
公开(公告)号 | CN104734015A |
IPC 分类号 | H01S5/343 |
专利代理人 | 任岩 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90413 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈平,赵德刚,朱建军,等. 具有非对称Al组分AlGaN限制层的氮化镓基激光器. CN104734015A[P]. 2015-06-24. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN104734015A.PDF(665KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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