具有作為抗反射層之空氣薄膜、波束分離器及面鏡的平面波導

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	具有作為抗反射層之空氣薄膜、波束分離器及面鏡的平面波導
其他题名	具有作為抗反射層之空氣薄膜、波束分離器及面鏡的平面波導
	麥克多納德馬克
	2007-03-16
专利权人	英特爾公司
公开日期	2007-03-16
授权国家	中国台湾
专利类型	发明申请
摘要	本發明係揭露包括一穿過各段的波導之積集結構,其中波導進一步包括一波導中面鏡、一波束分離器或一抗反射元件。波導中面鏡、波束分離器或抗反射元件係利用經過波導之一或多個經聚焦離子波束(FIB)切割或開縫所形成。用於面鏡、波束分離器及抗反射元件之切割或開縫皆具有高的尺寸比。面鏡係包括一個延伸過核心而垂直於核心的一軸線之開縫;波束分離器係包括相對於核心的一軸線以一角度延伸過核心之單一開縫;而抗反射元件係包括延伸過核心而垂直於核心的一軸線之一對隔開的開縫。
其他摘要	本發明係揭露包括一穿過各段的波導之積集結構,其中波導進一步包括一波導中面鏡、一波束分離器或一抗反射元件。波導中面鏡、波束分離器或抗反射元件係利用經過波導之一或多個經聚焦離子波束(FIB)切割或開縫所形成。用於面鏡、波束分離器及抗反射元件之切割或開縫皆具有高的尺寸比。面鏡係包括一個延伸過核心而垂直於核心的一軸線之開縫;波束分離器係包括相對於核心的一軸線以一角度延伸過核心之單一開縫;而抗反射元件係包括延伸過核心而垂直於核心的一軸線之一對隔開的開縫。
申请日期	2006-06-30
专利号	TW200711240A
专利状态	失效
申请号	TW095123854
公开（公告）号	TW200711240A
IPC 分类号	H01S5/14 \| G02B6/02 \| G02B5/00
专利代理人	惲軼群 \| 陳文郎
代理机构	-
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90294
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	英特爾公司
推荐引用方式 GB/T 7714	麥克多納德馬克. 具有作為抗反射層之空氣薄膜、波束分離器及面鏡的平面波導. TW200711240A[P]. 2007-03-16.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
TW200711240A.PDF（2558KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文