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具有高热波长调谐效率的可调激光器
其他题名具有高热波长调谐效率的可调激光器
陈宏民; 颜学进; 苗容生; 沈晓; 刘宗荣
2016-03-16
专利权人华为技术有限公司
公开日期2016-03-16
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要一种单片集成热可调激光器,包括:分层衬底,所述分层衬底包括上表面和下表面,以及热调谐组件,所述热调谐组件包括:定位在所述上表面上的加热元件;定位在所述上表面与所述下表面之间的波导层,以及定位在所述波导层与所述下表面之间的隔热层,其中所述隔热层至少部分由磷化铟(Indium?Phosphide,InP)牺牲层刻蚀出,其中所述隔热层定位在砷化铟镓(Indium?Gallium?Arsenide,InGaAs)刻蚀停止层之间。
其他摘要一种单片集成热可调激光器,包括:分层衬底,所述分层衬底包括上表面和下表面,以及热调谐组件,所述热调谐组件包括:定位在所述上表面上的加热元件;定位在所述上表面与所述下表面之间的波导层,以及定位在所述波导层与所述下表面之间的隔热层,其中所述隔热层至少部分由磷化铟(Indium?Phosphide,InP)牺牲层刻蚀出,其中所述隔热层定位在砷化铟镓(Indium?Gallium?Arsenide,InGaAs)刻蚀停止层之间。
申请日期2014-04-30
专利号CN105409071A
专利状态申请中
申请号CN201480037709.7
公开(公告)号CN105409071A
IPC 分类号H01S5/026 | H01S5/50 | H01S5/06 | H01S5/042 | H01S5/125 | H01S5/0625 | G02B6/12
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90195
专题半导体激光器专利数据库
作者单位华为技术有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
陈宏民,颜学进,苗容生,等. 具有高热波长调谐效率的可调激光器. CN105409071A[P]. 2016-03-16.
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CN105409071A.PDF(1355KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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