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InP基板上的Ⅱ-Ⅵ/Ⅲ-Ⅴ多层结构
其他题名InP基板上的Ⅱ-Ⅵ/Ⅲ-Ⅴ多层结构
孙晓光; 托马斯·J·米勒; 迈克尔·A·哈斯
2007-05-16
专利权人3M创新有限公司
公开日期2007-05-16
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要提供一种包括InP基板和II-VI及III-V材料交替层的多层结构。一般地,II-VI及III-V材料交替层与InP基板晶格匹配或者假同晶。一般地,II-VI材料选自ZnSe、CdSe、BeSe、MgSe、ZnTe、CdTe、BeTe、MgTe、ZnS、CdS、BeS、MgS和它们的合金,更一般地,选自CdZnSe、CdMgZnSe、BeZnTe和BeMgZnTe合金,最一般选自CdxZn1-xSe,其中x在0.44和0.54之间。一般地,III-V族材料选自InAs、AlAs、GaAs、InP、AlP、GaP、InSb、AlSb、GaSb和它们的合金,更一般地选自InP、InAlAs、GaInAs、AlInGaAs和GaInAsP合金,最一般地选自InP或InyAl1-yAs,其中y在0.44和0.52之间。在一个实施方案中,该多层结构形成一个或多个分布布喇格反射镜(DBR)。另一方面,本发明提供一种含有InP基板和分布布喇格反射镜(DBR)的多层结构,该分布布喇格反射镜具有95%或更高的反射率并至多包括15对外延半导体材料涂层。另一方面,本发明提供一种含有本发明所述多层结构的激光器。另一方面,本发明提供一种含有本发明所述多层结构的光电探测器。
其他摘要提供一种包括InP基板和II-VI及III-V材料交替层的多层结构。一般地,II-VI及III-V材料交替层与InP基板晶格匹配或者假同晶。一般地,II-VI材料选自ZnSe、CdSe、BeSe、MgSe、ZnTe、CdTe、BeTe、MgTe、ZnS、CdS、BeS、MgS和它们的合金,更一般地,选自CdZnSe、CdMgZnSe、BeZnTe和BeMgZnTe合金,最一般选自CdxZn1-xSe,其中x在0.44和0.54之间。一般地,III-V族材料选自InAs、AlAs、GaAs、InP、AlP、GaP、InSb、AlSb、GaSb和它们的合金,更一般地选自InP、InAlAs、GaInAs、AlInGaAs和GaInAsP合金,最一般地选自InP或InyAl1-yAs,其中y在0.44和0.52之间。在一个实施方案中,该多层结构形成一个或多个分布布喇格反射镜(DBR)。另一方面,本发明提供一种含有InP基板和分布布喇格反射镜(DBR)的多层结构,该分布布喇格反射镜具有95%或更高的反射率并至多包括15对外延半导体材料涂层。另一方面,本发明提供一种含有本发明所述多层结构的激光器。另一方面,本发明提供一种含有本发明所述多层结构的光电探测器。
申请日期2005-04-29
专利号CN1965452A
专利状态失效
申请号CN200580018674.3
公开(公告)号CN1965452A
IPC 分类号H01S5/183 | H01L31/0248 | H01L33/00 | H01S5/02 | H01S5/32
专利代理人梁晓广 | 陆锦华
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90120
专题半导体激光器专利数据库
作者单位3M创新有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
孙晓光,托马斯·J·米勒,迈克尔·A·哈斯. InP基板上的Ⅱ-Ⅵ/Ⅲ-Ⅴ多层结构. CN1965452A[P]. 2007-05-16.
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