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GaAs衬底上实现3微米附近发光的量子阱结构及其制备方法
其他题名GaAs衬底上实现3微米附近发光的量子阱结构及其制备方法
王庶民; 顾溢; 张永刚; 宋禹忻; 叶虹
2013-10-23
专利权人中国科学院上海微系统与信息技术研究所
公开日期2013-10-23
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明涉及一种GaAs衬底上实现3微米附近发光的量子阱结构及其制备方法,该量子阱结构采用InxGa1-xAs1-yBiy作为量子阱的阱层材料,采用AlzGa1-zAs作为量子阱的垒层材料;其制备方法包括:(1)在GaAs衬底上生长GaAs缓冲层和AlGaAs势垒层;(2)生长InxGa1-xAs1-yBiy势阱层;(3)继续重复生长N-1个周期的AlGaAs势垒层和InGaAsBi势阱层;(4)最后再生长AlGaAs势垒层,完成量子阱结构的生长。本发明的量子阱结构可获得比传统AlGaAs/InGaAs量子阱更长的发光波长,实现波长达3微米附近的发光;制备方法操作工艺简单,易控制。
其他摘要本发明涉及一种GaAs衬底上实现3微米附近发光的量子阱结构及其制备方法,该量子阱结构采用InxGa1-xAs1-yBiy作为量子阱的阱层材料,采用AlzGa1-zAs作为量子阱的垒层材料;其制备方法包括:(1)在GaAs衬底上生长GaAs缓冲层和AlGaAs势垒层;(2)生长InxGa1-xAs1-yBiy势阱层;(3)继续重复生长N-1个周期的AlGaAs势垒层和InGaAsBi势阱层;(4)最后再生长AlGaAs势垒层,完成量子阱结构的生长。本发明的量子阱结构可获得比传统AlGaAs/InGaAs量子阱更长的发光波长,实现波长达3微米附近的发光;制备方法操作工艺简单,易控制。
申请日期2013-06-27
专利号CN103368073A
专利状态失效
申请号CN201310264489.9
公开(公告)号CN103368073A
IPC 分类号H01S5/343
专利代理人黄志达
代理机构上海泰能知识产权代理事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89991
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王庶民,顾溢,张永刚,等. GaAs衬底上实现3微米附近发光的量子阱结构及其制备方法. CN103368073A[P]. 2013-10-23.
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