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硅发光元件
其他题名硅发光元件
楚树成; 菅博文
2011-10-05
专利权人浜松光子学株式会社
公开日期2011-10-05
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明提供了一种硅发光元件,具备:具有第1面(10a)和位于该第1面相反侧的第2面(10b)的第1导电类型的硅衬底(10);设置在硅衬底(10)的第1面(10a)上的绝缘膜(11);设置在绝缘膜(11)上不同于第1导电类型的第2导电类型的硅层(12);设置在硅层(12)上的第1电极(13);以及设置在硅衬底的第2面上的第2电极(14),硅衬底(10)的载流子浓度为5×1015cm-3~5×1018cm-3,硅层(12)的载流子浓度为1×1017cm-3~5×1019cm-3并且比硅衬底(10)的载流子浓度大一个数量级以上,绝缘膜(11)的膜厚是0.3nm~5nm。由此,实现了可以适用于硅光子学的光源的硅发光元件。
其他摘要本发明提供了一种硅发光元件,具备:具有第1面(10a)和位于该第1面相反侧的第2面(10b)的第1导电类型的硅衬底(10);设置在硅衬底(10)的第1面(10a)上的绝缘膜(11);设置在绝缘膜(11)上不同于第1导电类型的第2导电类型的硅层(12);设置在硅层(12)上的第1电极(13);以及设置在硅衬底的第2面上的第2电极(14),硅衬底(10)的载流子浓度为5×1015cm-3~5×1018cm-3,硅层(12)的载流子浓度为1×1017cm-3~5×1019cm-3并且比硅衬底(10)的载流子浓度大一个数量级以上,绝缘膜(11)的膜厚是0.3nm~5nm。由此,实现了可以适用于硅光子学的光源的硅发光元件。
申请日期2009-09-08
专利号CN102210029A
专利状态失效
申请号CN200980144433.1
公开(公告)号CN102210029A
IPC 分类号H01L33/00 | H01S5/32
专利代理人龙淳
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89983
专题半导体激光器专利数据库
作者单位浜松光子学株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
楚树成,菅博文. 硅发光元件. CN102210029A[P]. 2011-10-05.
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