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半导体器件及其制备方法和应用
其他题名半导体器件及其制备方法和应用
陈弘; 贾海强
2016-04-20
专利权人中国科学院物理研究所
公开日期2016-04-20
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明提供的半导体器件包括依次形成的硅基材料基片、隔离层、化合物基半导体外延材料层,其中,所述隔离层的材料为金属材料或介质材料,本发明提供的半导体器件,通过在硅基衬底与化合物基半导体外延材料层之间建立隔离层,从而构建了硅基衬底与化合物基半导体外延材料层之间的晶格失配产生应力的缓冲层,这样,该半导体器件在工作时,硅基衬底与化合物基半导体外延材料两者晶格失配与热失配问题产生的大的应力问题得到良好隔离,半导体器件工作寿命延长。
其他摘要本发明提供的半导体器件包括依次形成的硅基材料基片、隔离层、化合物基半导体外延材料层,其中,所述隔离层的材料为金属材料或介质材料,本发明提供的半导体器件,通过在硅基衬底与化合物基半导体外延材料层之间建立隔离层,从而构建了硅基衬底与化合物基半导体外延材料层之间的晶格失配产生应力的缓冲层,这样,该半导体器件在工作时,硅基衬底与化合物基半导体外延材料两者晶格失配与热失配问题产生的大的应力问题得到良好隔离,半导体器件工作寿命延长。
申请日期2014-10-17
专利号CN105514793A
专利状态失效
申请号CN201410553135.0
公开(公告)号CN105514793A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S5/30 | H01S5/343 | H01S5/22
专利代理人宋鹰武 | 沈祖锋
代理机构深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89944
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
陈弘,贾海强. 半导体器件及其制备方法和应用. CN105514793A[P]. 2016-04-20.
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