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半導体量子井戸レーザの製法
其他题名半導体量子井戸レーザの製法
岡本 稔; 納富 雅也
1993-05-25
专利权人日本電信電話株式会社
公开日期1993-05-25
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要(修正有) 【目的】 活性層としての半導体層にダメージを与えることなしに、所期の半導体量子井戸レーザとしての特性を有するものの製法を提案する。 【構成】 活性層としての半導体層4を、半導体層から、断面逆メサ状の半導体層5′をマスクとして用いて形成している。そのマスクは、爾後高いバンドギャップエネルギを有する半導体層5になる断面逆メサ状の半導体層5′であるので従来のようにマスクを除去する、という工程を有しない。このため、活性層としての半導体層4に、ダメージを与えなくすることができる。
其他摘要用途:防止作为有源层的半导体层被半导体层(作为光导/量子限制层)形成在半导体上作为有源层和具有高带隙能量的半导体层的方法损坏。组成:具有高带隙能量的半导体层5形成在半导体层3上,作为光导/量子限制层,来自具有倒置台面形成部分的半导体层5'。然后,通过设置在其上的半导体层部分5a的中间层,在作为活化半导体层4的半导体层4上形成半导体层6,作为连续延伸穿过上述层的其它光导/量子限制层。半导体层5具有高带隙能量。然后,依次形成作为InP包层的p型半导体层7,p +型半导体层8,作为由InGaAs构成的覆盖层。
申请日期1991-07-22
专利号JP1993129710A
专利状态失效
申请号JP1991206467
公开(公告)号JP1993129710A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S3/18
专利代理人田中 正治
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89630
专题半导体激光器专利数据库
作者单位日本電信電話株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
岡本 稔,納富 雅也. 半導体量子井戸レーザの製法. JP1993129710A[P]. 1993-05-25.
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JP1993129710A.PDF(59KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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