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Semiconductor laser and manufacture thereof
其他题名Semiconductor laser and manufacture thereof
YAGI TETSUYA
1990-04-09
专利权人MITSUBISHI ELECTRIC CORP
公开日期1990-04-09
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要PURPOSE:To improve a semiconductor laser of this design in resistance to the variability of chips in structural parameter occurred in a manufacturing process by a method wherein a p--region is formed inside a first clad layer, an active layer, and a second clad layer along a buffer layer. CONSTITUTION:An n-type first clad layer 2 provided with a stripe-like protrusion 11 is formed on an n-type substrate 1, an active layer 3 is formed on the protrusion 11 inside the layer 2, and a p-type second clad layer 4 is provided onto the active layer 3. And, a p-type buffer layer 5 is provided above the first clad layer 2 other than the protrusion 11 so as to be in contact with the side faces of the protrusion 11, the active layer 3, and the second clad layer 4. An n-type current block layer 6, whose band gap energy is smaller than that of the active layer 3, is provided so as to bury the buffer layer 5, and a p-type contact layer 7 is formed on the current block layer 6 and the second clad layer 4. Concurrently, when a p-region 8 is formed inside the first clad layer 2, the active layer 3, and the second clad layer 4 along the buffer layer 5, the refractive index of the p-region 8 becomes smaller than that of the region inside the protrusion 11, and if the width and the carrier concentration of the p-region 8 are adequately set, an actual and a complex refractive index difference occur, so that laser beam can be stabilized in a fundamental mode.
其他摘要目的:通过一种方法改进本设计的半导体激光器,以抵抗在制造过程中发生的结构参数中芯片的可变性,其中在第一覆层,有源层和有源层内部形成p + - 区域。沿缓冲层的第二包层。组成:在n型基板1上形成具有条状突起11的n型第一包层2,在层2内的突起11上形成有源层3,以及p型第二包层层4设置在有源层3上。并且,p型缓冲层5设置在第一覆层2上方而不是突起11,以便与突起11的侧面接触,有源层3,提供n型电流阻挡层6,其带隙能量小于有源层3的带隙能量,以掩埋缓冲层5,并且p型接触层7是同时,当在第一包层2,有源层3和第二包层4内部沿缓冲层5形成p + - 区域8时,形成在电流阻挡层6和第二包层4上。 p +区域8的折射率变得小于突起11内部区域的折射率,并且如果p +区域8的宽度和载流子浓度被适当地设定,则实际和复杂发生折射率差异,使激光束在基本稳定模式。
申请日期1988-10-03
专利号JP1990097083A
专利状态失效
申请号JP1988249364
公开(公告)号JP1990097083A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S3/18
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89510
专题半导体激光器专利数据库
作者单位MITSUBISHI ELECTRIC CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
YAGI TETSUYA. Semiconductor laser and manufacture thereof. JP1990097083A[P]. 1990-04-09.
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JP1990097083A.PDF(318KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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