Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| ガラス微細穴加工用レーザ加工機及びガラス微細穴加工方法 | |
| 其他题名 | ガラス微細穴加工用レーザ加工機及びガラス微細穴加工方法 |
| 中村 玲王奈; 藤川 周一; 桂 智毅; 西前 順一 | |
| 2013-12-05 | |
| 专利权人 | 三菱電機株式会社 |
| 公开日期 | 2013-12-05 |
| 授权国家 | 日本 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 【課題】生産性の向上が図れ、かつ、コストも抑える。 【解決手段】加工対象物であるガラス28を搭載するステージ台27と、レーザビーム22を発振するレーザ発振器21と、発振されたレーザビーム22のビーム径の大きさやビーム形状を調整するビーム調整光学系23と、調整後のレーザビーム22の進行方向をガラス28に向けて調整する導光ミラー24と、導光されたレーザビーム22を成形するマスク25と、成形されたレーザビーム22をガラス28のレーザビーム入射面に集光する集光レンズ26とを備え、レーザビーム22のパルス幅を5μs以下に調整する。 【選択図】図1 |
| 其他摘要 | 要解决的问题：提高生产力和降低成本。 一种振荡激光束的激光振荡器，一种调整振荡激光束光束直径和光束形状的光束调整光学系统，用于调节调节的激光束22朝向玻璃28的前进方向的导光镜24，用于使被引导的激光束22成形的掩模25，以及玻璃28并且，激光束22的脉冲宽度被调节为5μs或更小。 点域1 |
| 申请日期 | 2012-05-21 |
| 专利号 | JP2013241301A |
| 专利状态 | 授权 |
| 申请号 | JP2012115352 |
| 公开（公告）号 | JP2013241301A |
| IPC 分类号 | C03B33/09 | H01S3/10 | B23K26/38 | H01S3/104 | H01S5/00 | H01S3/00 | B23K26/00 |
| 专利代理人 | 曾我 道治 | 鈴木 憲七 | 梶並 順 | 大宅 一宏 | 上田 俊一 | 吉田 潤一郎 | 飯野 智史 |
| 代理机构 | - |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89431 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 三菱電機株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 中村 玲王奈,藤川 周一,桂 智毅,等. ガラス微細穴加工用レーザ加工機及びガラス微細穴加工方法. JP2013241301A[P]. 2013-12-05. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| JP2013241301A.PDF（269KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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