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窒化物系化合物半導体光素子
其他题名窒化物系化合物半導体光素子
内田 憲治; 渡辺 明禎; 田中 俊明; 皆川 重量
1997-09-05
专利权人株式会社日立製作所
公开日期1997-09-05
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要(修正有) 【課題】窒化物系化合物半導体からなる光素子の製造において、光導波路を安全且つ制御性良く形成し、キャリア及び光を有効に活性層に閉じ込められる光素子を作製する。 【解決手段】側方に電流狭窄層19が形成されるクラッド層18中にエッチング停止層7を新たに形成する。エッチング停止層7は、クラッド層よりバンドギャップが大きく且つキャリア濃度が異なるものとする。この場合、エッチング停止層中のキャリア濃度は、これがp型クラッド層8中のときは高く又n型クラッド層4中のときは低くする。エッチング停止層の組成は、(AlxGa1-x)InyN(但し、0≦x≦1,0≦y≦1)とする。
其他摘要要解决的问题:生产氮化物复合材料的光学器件。半导体具有安全且可控制地形成的光导,并且能够有效地将载流子和光限制在有源层中。解决方案:在包层18中新形成蚀刻停止层7,其中在侧面形成电流狭窄层19,并且具有比包层18的带隙更宽的带隙和不同的载流子浓度。载体浓缩当在p型覆层8和n型覆层4中时,在停止层7中,高阻抗和低阻挡层的形成。阻挡层的组成。是(Alx Ga1-x)Iny N,0 <= x,Y <= 1。
申请日期1996-02-22
专利号JP1997232681A
专利状态失效
申请号JP1996034576
公开(公告)号JP1997232681A
IPC 分类号H01S5/323 | H01S5/343 | H01L33/06 | H01L33/14 | H01L33/10 | H01L33/32 | H01S5/00 | H01L33/20 | H01S3/18 | H01L33/00
专利代理人小川 勝男
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89286
专题半导体激光器专利数据库
作者单位株式会社日立製作所
推荐引用方式
GB/T 7714
内田 憲治,渡辺 明禎,田中 俊明,等. 窒化物系化合物半導体光素子. JP1997232681A[P]. 1997-09-05.
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JP1997232681A.PDF(32KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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