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半導体レーザとその製造方法
其他题名半導体レーザとその製造方法
岡 聡彦; 山下 茂雄; 黒田 崇郎; 小野 佑一
1993-09-03
专利权人HITACHI LTD
公开日期1993-09-03
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【構成】p型InP基板7上に、InGaAsP活性層5とn型InPクラッド層4を結晶成長した後、InGaAsP活性層5の下面まで一致する深さまで、或いは下面より0.2μm 以内の深さまでエッチングを行いメサを形成し、半絶縁性InPブロック層6とn型InP埋込層3で埋め込む。 【効果】メサの直列抵抗が低減されるため、レーザ発振時における電流ブロック層にかかる電圧も小さい。従って、電流ブロック層を流れるリーク電流が小さくなり、低閾値で、高効率の半導体レーザが得られる。
其他摘要用途:通过允许激活层的底平面与台面的底部一致或允许从台面的底平面到底面的高度,防止串联电阻增加并提高低阈值的振荡效率。激活层为固定值或更小。组成:p型InP台面的高度允许为0.2mum或更低,并且该部分的串联电阻增加被抑制。在p型InP衬底7上晶体生长InGaAsP活化层5和n型P包覆层4之后,进行蚀刻至与InGaAsP活化层5的底平面一致的深度,并形成台面。然后,台面条的两侧被半绝缘InP阻挡层6掩埋。台面条由n型InP包层4和InGaAsP激活层5构成,并且由于台面条不包含在p型InP层中,台面条纹的串联电阻减小。结果,几乎不允许半绝缘InP阻挡层6中的漏电流流动。
申请日期1992-02-17
专利号JP1993226772A
专利状态失效
申请号JP1992029192
公开(公告)号JP1993226772A
IPC 分类号H01S5/042 | H01S5/00 | H01S3/18
专利代理人小川 勝男
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/88376
专题半导体激光器专利数据库
作者单位HITACHI LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
岡 聡彦,山下 茂雄,黒田 崇郎,等. 半導体レーザとその製造方法. JP1993226772A[P]. 1993-09-03.
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