Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| Multi-level integrated photonic devices | |
| 其他题名 | Multi-level integrated photonic devices |
| BEHFAR, ALEX A.; GREEN, MALCOLM R.; SCHREMER, ALFRED T. | |
| 2010-04-15 | |
| 专利权人 | MACOM TECHNOLOGY SOLUTIONS HOLDINGS, INC. |
| 公开日期 | 2010-04-15 |
| 授权国家 | 美国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | A laser and electroabsorption modulator (EAM) are monolithically integrated through an etched facet process. Epitaxial layers on a wafer include a first layer for a laser structure and a second layer for an EAM structure. Strong optical coupling between the laser and the EAM is realized by using two 45-degree turning mirrors to route light vertically from the laser waveguide to the EAM waveguide. A directional angled etch process is used to form the two angled facets. |
| 其他摘要 | 激光和电吸收调制器（EAM）通过蚀刻刻面工艺单片集成。晶片上的外延层包括用于激光器结构的第一层和用于EAM结构的第二层。通过使用两个45度转向镜将光从激光波导垂直地路由到EAM波导，实现激光器和EAM之间的强光耦合。定向成角度蚀刻工艺用于形成两个成角度的刻面。 |
| 申请日期 | 2009-12-17 |
| 专利号 | US20100091810A1 |
| 专利状态 | 授权 |
| 申请号 | US12/641053 |
| 公开（公告）号 | US20100091810A1 |
| IPC 分类号 | H01S5/026 | H01L33/00 | G02B6/12 | G02B6/122 | G02B6/13 | G02F1/017 | H01S5/00 | H01S5/028 | H01S5/0683 | H01S5/10 | H01S5/22 | H01S5/343 |
| 专利代理人 | - |
| 代理机构 | - |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/87915 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | MACOM TECHNOLOGY SOLUTIONS HOLDINGS, INC. |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | BEHFAR, ALEX A.,GREEN, MALCOLM R.,SCHREMER, ALFRED T.. Multi-level integrated photonic devices. US20100091810A1[P]. 2010-04-15. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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