導波路型光素子及びこれを用いた光送信モジュール並びに集積化光導波素子

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	導波路型光素子及びこれを用いた光送信モジュール並びに集積化光導波素子
其他题名	導波路型光素子及びこれを用いた光送信モジュール並びに集積化光導波素子
	篠田和典; 外川英男; 嶋岡誠; 青木雅博; 辻伸二; 魚見和久
	1998-01-27
专利权人	株式会社日立製作所
公开日期	1998-01-27
授权国家	日本
专利类型	发明申请
摘要	【課題】半導体光素子に関し、極めて簡易な作製法で実現可能な信頼性の高いリッジ装荷型光導波路素子の素子構造を提供することにある。【解決手段】リッジ装荷型光導波路の両脇のリッジを形成するためのエッチング溝に熱膨張係数の小さな有機絶縁膜材料を充填し平坦化すること、およびエッチング溝の幅及び有機絶縁膜材料の厚みを最適な値に設定して半導体光素子を作製する。【効果】本発明によれば、リッジ状の半導体層及びその表面に形成されたSiO2のダメージのない信頼性の高いリッジ装荷型光導波路素子を容易に実現できる。また、素子信頼性、歩留まりが飛躍的に向上するだけでなく、この素子を適用した光通信システムの大容量化、長距離化を容易に実現できる。
其他摘要	要解决的问题：提供高度可靠的脊加载光波导元件的元件结构，其可以通过相对于半导体光学器件的非常简单的制造方法来实现。解决方案：为了通过填充具有小的热膨胀系数并使其平坦化的有机绝缘膜材料来平坦化用于在脊加载型光波导的两侧形成脊的蚀刻槽，通过将厚度设定为最佳值来制造半导体光学器件。根据本发明，可以容易地实现高度可靠的脊负载光波导元件，其没有破裂状半导体层并且在其表面上没有形成SiO 2 的损坏。此外，不仅元件可靠性和产量显着提高，而且可以容易地实现应用该元件的光通信系统的大容量和长距离。
申请日期	1996-07-11
专利号	JP1998026710A
专利状态	失效
申请号	JP1996181857
公开（公告）号	JP1998026710A
IPC 分类号	G02F1/025 \| G02B6/12 \| G02B6/122 \| H01S5/00 \| H01S3/18
专利代理人	小川勝男
代理机构	-
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/87214
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	株式会社日立製作所
推荐引用方式 GB/T 7714	篠田和典,外川英男,嶋岡誠,等. 導波路型光素子及びこれを用いた光送信モジュール並びに集積化光導波素子. JP1998026710A[P]. 1998-01-27.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
JP1998026710A.PDF（134KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文