Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
金锡薄膜的制备装置和方法 | |
其他题名 | 金锡薄膜的制备装置和方法 |
孙广伟; 辛国锋; 皮浩洋; 封惠忠; 于阿滨; 蔡海文; 瞿荣辉 | |
2015-01-21 | |
专利权人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
公开日期 | 2015-01-21 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 一种金锡薄膜制备装置和方法,该装置包括蒸发室、公转轴、公转盘、固定轴、工件架、推杆、支撑架、滑槽、电极和蒸发舟,通过推杆的移动推动Au球和Sn球沿着滑槽滚动落到蒸发舟上从而实现AuSn薄膜的制备,本发明可以精确控制AuSn薄膜中Au和Sn的厚度和比例,得到的薄膜具有结构致密、成分分布均匀的特点,在半导体激光器封装领域具有很高的应用价值。 |
其他摘要 | 一种金锡薄膜制备装置和方法,该装置包括蒸发室、公转轴、公转盘、固定轴、工件架、推杆、支撑架、滑槽、电极和蒸发舟,通过推杆的移动推动Au球和Sn球沿着滑槽滚动落到蒸发舟上从而实现AuSn薄膜的制备,本发明可以精确控制AuSn薄膜中Au和Sn的厚度和比例,得到的薄膜具有结构致密、成分分布均匀的特点,在半导体激光器封装领域具有很高的应用价值。 |
申请日期 | 2014-10-23 |
专利号 | CN104294218A |
专利状态 | 授权 |
申请号 | CN20141057142X |
公开(公告)号 | CN104294218A |
IPC 分类号 | C23C14/14 | C23C14/26 |
专利代理人 | 张泽纯 | 张宁展 |
代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86456 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙广伟,辛国锋,皮浩洋,等. 金锡薄膜的制备装置和方法. CN104294218A[P]. 2015-01-21. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN104294218A.PDF(475KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
个性服务 |
推荐该条目 |
保存到收藏夹 |
查看访问统计 |
导出为Endnote文件 |
谷歌学术 |
谷歌学术中相似的文章 |
[孙广伟]的文章 |
[辛国锋]的文章 |
[皮浩洋]的文章 |
百度学术 |
百度学术中相似的文章 |
[孙广伟]的文章 |
[辛国锋]的文章 |
[皮浩洋]的文章 |
必应学术 |
必应学术中相似的文章 |
[孙广伟]的文章 |
[辛国锋]的文章 |
[皮浩洋]的文章 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论