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紧凑芯片中的长半导体激光腔
其他题名紧凑芯片中的长半导体激光腔
A·贝法尔; C·斯塔盖瑞斯库
2016-04-20
专利权人镁可微波技术有限公司
公开日期2016-04-20
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要紧凑芯片中的长半导体激光腔。通过使用由蚀刻面形成的全内反射(TIR)表面,长半导体激光器腔体被放置在相对较短长度的芯片里。在一个实施例中,通过使用成三个45度角的TIR表面来连接界定激光腔的四段脊波导或掩埋异质结构(BH)波导,沿着矩形半导体芯片的周边边界形成激光腔。在其他实施例中,甚至使用更多TIR表面和波导段或节段,制造矩形或四边形螺旋结构形状的更长的激光腔。这些结构被限制在邻近波导部分的间隙中,如果其中间隙太小,会引起节段之间的不被期望的耦合。但是,使用邻近部分之间的蚀刻凹槽已被证明可减少这种耦合效应。
其他摘要紧凑芯片中的长半导体激光腔。通过使用由蚀刻面形成的全内反射(TIR)表面,长半导体激光器腔体被放置在相对较短长度的芯片里。在一个实施例中,通过使用成三个45度角的TIR表面来连接界定激光腔的四段脊波导或掩埋异质结构(BH)波导,沿着矩形半导体芯片的周边边界形成激光腔。在其他实施例中,甚至使用更多TIR表面和波导段或节段,制造矩形或四边形螺旋结构形状的更长的激光腔。这些结构被限制在邻近波导部分的间隙中,如果其中间隙太小,会引起节段之间的不被期望的耦合。但是,使用邻近部分之间的蚀刻凹槽已被证明可减少这种耦合效应。
申请日期2011-10-25
专利号CN105514800A
专利状态失效
申请号CN201610091174.2
公开(公告)号CN105514800A
IPC 分类号H01S5/10
专利代理人李玲
代理机构上海专利商标事务所有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86155
专题半导体激光器专利数据库
作者单位镁可微波技术有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
A·贝法尔,C·斯塔盖瑞斯库. 紧凑芯片中的长半导体激光腔. CN105514800A[P]. 2016-04-20.
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CN105514800A.PDF(2294KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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