Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统 | |
| 其他题名 | 基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统 |
| 张鸣; 朱煜; 刘召; 胡金春; 徐登峰; 杨开明; 尹文生; 穆海华 | |
| 2012-04-11 | |
| 专利权人 | 清华大学 |
| 公开日期 | 2012-04-11 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 一种基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统，针对光刻机硅片台、掩膜台的定位而发明。该系统主要包括半导体激光器、光纤准直器、光纤、光纤分路器、滤光片、三个PSD传感器及信号处理系统。半导体激光器发射的激光照射到光纤准直器上，后经光纤分路器分三路分别传输，经滤光片滤除背景光后由PSD传感器接收，激光光斑在三个PSD传感器上的位置经信号处理系统处理得到空间六自由度物体的位姿。该定位系统采用非接触式测量，避免了线缆对平台运动精度的影响，同时具有定位精度高、响应快、结构简单及成本低等特点。 |
| 其他摘要 | 一种基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统，针对光刻机硅片台、掩膜台的定位而发明。该系统主要包括半导体激光器、光纤准直器、光纤、光纤分路器、滤光片、三个PSD传感器及信号处理系统。半导体激光器发射的激光照射到光纤准直器上，后经光纤分路器分三路分别传输，经滤光片滤除背景光后由PSD传感器接收，激光光斑在三个PSD传感器上的位置经信号处理系统处理得到空间六自由度物体的位姿。该定位系统采用非接触式测量，避免了线缆对平台运动精度的影响，同时具有定位精度高、响应快、结构简单及成本低等特点。 |
| 申请日期 | 2011-07-26 |
| 专利号 | CN102410836A |
| 专利状态 | 授权 |
| 申请号 | CN201110210439.3 |
| 公开（公告）号 | CN102410836A |
| IPC 分类号 | G01C21/00 |
| 专利代理人 | 邸更岩 |
| 代理机构 | 北京鸿元知识产权代理有限公司 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86032 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张鸣,朱煜,刘召,等. 基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统. CN102410836A[P]. 2012-04-11. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN102410836A.PDF（273KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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