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混合集成激光器及其制备方法
其他题名混合集成激光器及其制备方法
郭霞; 武华; 韩明夫
2012-09-19
专利权人北京工业大学
公开日期2012-09-19
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明提供了一种混合集成激光器,涉及光电子技术领域,具体包括依次纵向层叠的衬底1、将光实现90度偏转功能的光耦合器2、键合层3和垂直腔面发射激光光源4,本发明所要解决的技术问题是提供一种混合集成激光器及其制备方法,针对现有硅基混合激光器在面向实用化遇到的问题,有效实现功耗低、集成度高和实用化。
其他摘要本发明提供了一种混合集成激光器,涉及光电子技术领域,具体包括依次纵向层叠的衬底1、将光实现90度偏转功能的光耦合器2、键合层3和垂直腔面发射激光光源4,本发明所要解决的技术问题是提供一种混合集成激光器及其制备方法,针对现有硅基混合激光器在面向实用化遇到的问题,有效实现功耗低、集成度高和实用化。
申请日期2012-05-30
专利号CN102684072A
专利状态失效
申请号CN201210175247.8
公开(公告)号CN102684072A
IPC 分类号H01S5/40 | H01S5/183
专利代理人王秀丽
代理机构北京汇信合知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/85869
专题半导体激光器专利数据库
作者单位北京工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
郭霞,武华,韩明夫. 混合集成激光器及其制备方法. CN102684072A[P]. 2012-09-19.
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文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
CN102684072A.PDF(343KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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