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一种多组份痕量气体浓度测量装置
其他题名一种多组份痕量气体浓度测量装置
朱小明; 王晓东; 李丙玉
2015-09-16
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2015-09-16
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种多组份痕量气体浓度测量装置,属于吸收光谱法测量技术领域。解决了现有技术中测量装置成本高、测量结果不准确的问题。本发明的装置包括第一半导体激光器、第二半导体激光器、第一折转镜、分束镜、准直隔离器、模式匹配镜、反射谐振腔、光电探测器和数据处理模块,其中,第一半导体激光器发射的光束经光纤传输至分束镜,经分束镜透射,第二半导体激光器发射的光束经光纤传输至第一折转镜,经分束镜反射,透射光和反射光依次经准直隔离器、模式匹配镜和反射谐振腔后入射到光电探测器并转换成电信号传输至数据处理模块进行分析。该装置成本低,便于光路保持、测量误差小。
其他摘要本发明公开了一种多组份痕量气体浓度测量装置,属于吸收光谱法测量技术领域。解决了现有技术中测量装置成本高、测量结果不准确的问题。本发明的装置包括第一半导体激光器、第二半导体激光器、第一折转镜、分束镜、准直隔离器、模式匹配镜、反射谐振腔、光电探测器和数据处理模块,其中,第一半导体激光器发射的光束经光纤传输至分束镜,经分束镜透射,第二半导体激光器发射的光束经光纤传输至第一折转镜,经分束镜反射,透射光和反射光依次经准直隔离器、模式匹配镜和反射谐振腔后入射到光电探测器并转换成电信号传输至数据处理模块进行分析。该装置成本低,便于光路保持、测量误差小。
申请日期2015-05-26
专利号CN104914058A
专利状态申请中
申请号CN201510274327.2
公开(公告)号CN104914058A
IPC 分类号G01N21/31
专利代理人王丹阳
代理机构长春菁华专利商标代理事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/85647
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
朱小明,王晓东,李丙玉. 一种多组份痕量气体浓度测量装置. CN104914058A[P]. 2015-09-16.
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CN104914058A.PDF(458KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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