基于半导体激光器组件的四自由度光学测头

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	基于半导体激光器组件的四自由度光学测头
其他题名	基于半导体激光器组件的四自由度光学测头
	苗恩铭; 高保林; 庄鑫栋; 董云飞
	2016-07-06
专利权人	合肥工业大学
公开日期	2016-07-06
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明涉及一种基于半导体激光器组件的四自由度光学测头。包括测头机构和靶镜机构；测头机构包括半导体激光器、四象限光电探测器、二维PSD位置敏感探测器、光隔离器和平凸透镜；靶镜机构包括半透半反镜和角锥棱镜；用于测量时，测头机构固定设于工作台上，靶镜机构固定设于动力头的主轴上。半导体激光器发出的光束经偏振分光棱镜后分为两束，其中一束光入射在半透半反镜上，50%的光会透过半透半反镜入射到角锥棱镜，再经角锥棱镜反射到四象限探测器上，用作测量二维直线位移X、Y的参考光束。入射到半透半反镜上的另一半光束会沿原路返回再次入射到分光镜被垂直反射到平凸透镜，再经平凸透镜准直聚焦入射到二维PSD上，用作角度误差（俯仰角，偏摆角）的参考光束。
其他摘要	本发明涉及一种基于半导体激光器组件的四自由度光学测头。包括测头机构和靶镜机构；测头机构包括半导体激光器、四象限光电探测器、二维PSD位置敏感探测器、光隔离器和平凸透镜；靶镜机构包括半透半反镜和角锥棱镜；用于测量时，测头机构固定设于工作台上，靶镜机构固定设于动力头的主轴上。半导体激光器发出的光束经偏振分光棱镜后分为两束，其中一束光入射在半透半反镜上，50%的光会透过半透半反镜入射到角锥棱镜，再经角锥棱镜反射到四象限探测器上，用作测量二维直线位移X、Y的参考光束。入射到半透半反镜上的另一半光束会沿原路返回再次入射到分光镜被垂直反射到平凸透镜，再经平凸透镜准直聚焦入射到二维PSD上，用作角度误差（俯仰角，偏摆角）的参考光束。
申请日期	2016-04-06
专利号	CN105737765A
专利状态	失效
申请号	CN201610214209.7
公开（公告）号	CN105737765A
IPC 分类号	G01B11/26 \| G01B11/27
专利代理人	金惠贞
代理机构	合肥金安专利事务所
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/85448
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	合肥工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	苗恩铭,高保林,庄鑫栋,等. 基于半导体激光器组件的四自由度光学测头. CN105737765A[P]. 2016-07-06.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN105737765A.PDF（165KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文