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半導体レーザ素子およびその製造方法
其他题名半導体レーザ素子およびその製造方法
森岡 達也; 大林 健; 高橋 幸司; 池田 裕章
2007-04-06
专利权人シャープ株式会社
公开日期2007-06-27
授权国家日本
专利类型授权发明
摘要【課題】 GaAs基板上に形成された活性層に少なくともInGaAsN層を含んでいる半導体レーザ素子において、従来のAlGaAs系,InGaAsP系で素子を形成した場合、素子設計におけるバンド構造の自由度が小さく特性の良好なものが得られない、さらにこれらの各層で最適結晶成長温度が異なることから界面で待ち時間を設ける必要があり、これに起因して信頼性の良好なものを得ることができていなかった。 【解決手段】 従来用いられていたAlGaAs層或いはInGaAsP層の代わりにInGaAlAsN層或いはInGaAsPN層を使用することにより、InGaAsN層とAlGaAs層或いはInGaAsP層の中間のバンド構造を有するものが得られ設計の自由度が向上する。さらに各層で結晶成長温度を一定に保つことができ信頼性の向上が図れる。
其他摘要在包括在GaAs衬底上形成的有源层中的至少InGaAsN层的半导体激光器件中,当形成传统的AlGaAs基或InGaAsP基器件时,器件设计中的能带结构的自由度小并且特性无法获得,并且由于这些层中的每一层的最佳晶体生长温度不同,因此必须在界面处提供等待时间,并且由此,不可能获得良好的可靠性。是的。 通过使用InGaAlAsN层或InGaAsPN层代替常规使用的AlGaAs层或InGaAsP层,可以获得具有介于InGaAsN层和AlGaAs层或InGaAsP层之间的带结构的材料并且设计自由度学位得到改善。此外,晶体生长温度可以在每层中保持恒定,并且可以提高可靠性。
申请日期1997-06-26
专利号JP3938976B2
专利状态失效
申请号JP1997169882
公开(公告)号JP3938976B2
IPC 分类号H01S5/343 | H01L33/00 | H01L33/32 | H01S5/00
专利代理人山崎 宏 | 前田 厚司 | 仲倉 幸典 | 小池 隆彌
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/83940
专题半导体激光器专利数据库
作者单位シャープ株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
森岡 達也,大林 健,高橋 幸司,等. 半導体レーザ素子およびその製造方法. JP3938976B2[P]. 2007-04-06.
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