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III族窒化物系化合物半導体素子及びその製造方法
其他题名III族窒化物系化合物半導体素子及びその製造方法
加藤 久喜; 小出 典克
2000-10-13
专利权人豊田合成株式会社
公开日期2000-10-13
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要(修正有) 【目的】 高品質のIII族窒化物系化合物半導体素子を再現性良く製造する方法を提供する。 【構成】 シリコン基板11の側壁を拡散防止層18で被覆した状態でIII族窒化物系化合物半導体を前記シリコン基板の上面に成長させる。
其他摘要(经修改) 提供一种用于制造具有良好再现性的高质量III族氮化物化合物半导体器件的方法。 在硅衬底的侧壁上覆盖有防扩散层的状态下,在硅衬底的上表面上生长III族氮化物基化合物半导体。
申请日期1999-03-31
专利号JP2000286449A
专利状态失效
申请号JP1999092291
公开(公告)号JP2000286449A
IPC 分类号H01L33/34 | H01S5/323 | H01S5/343 | H01L33/12 | H01L31/10 | H01L33/06 | H01L33/32 | H01L21/205 | H01S5/00 | H01L33/44 | H01L33/00
专利代理人小西 富雅
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/83668
专题半导体激光器专利数据库
作者单位豊田合成株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
加藤 久喜,小出 典克. III族窒化物系化合物半導体素子及びその製造方法. JP2000286449A[P]. 2000-10-13.
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文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
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